Etsauslaitteiden laakerit
Etsauslaitteiden laakerit altistetaan etsausliuokselle käytön aikana, joten ruostumattomia keraamisia laakereita ja ruostumatonta terästä käytetään.
Ioni-injektiolaitteiden laakerit
Ioni-injektiolaitteiden tyhjiökammioon otetaan puhtaat laakerit, jotka eivät synny epäpuhtauksia kulumisen jne. Takia voitelulla tyhjössä.
